量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO2
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。
WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
产品型号及技术指标
| 产品型号 |
WaveMaster® PRO 2 |
WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 |
批量测量单个小镜片的波前质量 |
批量测量晶圆级镜片的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
| 动态范围 | 2000λ | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz | 12Hz |
| 测量时间 | <3秒/颗 | <3秒/颗 |
| 样品口径 | 0.5mm...14mm | 0.5mm...14mm |
| 样品焦距 | -12mm...50mm | -12mm...50mm |
| 光源波长 | 532nm | 532nm |
| 样品夹持器 |
托盘式，自动定位多孔位（最多100个） |
托盘式，自动定位晶圆托盘（4″/6″/8″）自动判定晶圆方向 |
| 每个托盘的镜头 | 最多148颗① | ——— |
| 镜头托盘更换时间 | 10s | 10s |
| 晶圆托盘更换时间，包括校准 | ＜2min | ＜2min |
| 新镜头设计的设置时间 | ＜5min | ＜5min |
