LUPHOScan HD 系列可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行最高精度的非接触式三维轮廓测量。LUPHOScan HD的稳定性是行业领先的，即使在一些严苛的环境下，也能保证对非球面和自由曲面进行超高精度地快速轮廓测量，新一代LUPHOScan HD三维轮廓仪是业界首款在高达 90°的采样斜率上精度优于 50 nm (3σ) 的仪器。

先进的光学计量

• UPHOScan设计用于对旋转对称和非旋转对称表面进行精密的非接触式3D形状测量，如非球面、球面、平面和自由曲面。
    该系统的主要优势包括测量速度快，对不常见的表面形状（如平顶或有拐点的轮廓）具有高度灵活性，最大测量直径可达420mm。

• 前沿技术
    LUPHOScan是一个基于MWLI®技术（多波长干涉测量法）的扫描式测量系统。
    MWLI®传感器技术可以测量各种不同的表面类型，如透明材料、金属零件和磨砂表面。

技术指标

产品优势

• 建立精密光学的测量标准：

  • 分析任何旋转对称的表面：

    非球面、球面、平面和自由曲面

  • 测量的灵活性：

    局部表面、环形光学面、矩形表面、具有衍射结构的表面、锥面

  • 完整的透镜几何特征 （LUPHOSwap）：

    透鏡厚度、楔形误差、面间偏心误差、透镜安装定位

  •大的球面偏差：

    测量Pancake面或鸥翼面和有拐点的轮廓

  • 高精度-表面陡度可达90°:
    是测量陡峭和小型非球面元件的理想选择，包括手机镜头模具

  • 几乎所有的材料:
    透明的、镜面的、不透明的、抛光的或铣磨的

  • 优异的测量稳定性:
    Power 变化 <±20 nm （3σ），PV 变化＜±5 nm （3σ）

  • 高速测量:
      1:45分钟 (∅= 30 mm, Roc = 60 mm, 100 points / mm²)
      3:45分钟 (∅ = 130 mm, Roc = 150 mm, 50 points / mm²)

功能强大的软件模块

• LUPHOSoft 软件模块可提供对复杂的或不连续光学元件的直接测量。
    这些模块能够对局部透镜、环形透镜、锥透镜、锥面镜、非球面衍射透镜和自由曲面进行3D面形测量。
    每个模块都有包含一个复杂的数据分析工具。所有的标准数据分析选项都可以使用这些模块，这些模块也适用于每一种可以在LUPHOScan系统上测试的材料。

系统灵活

•粗糙表面的测量

    独特的MWL®技术可以测量粗糙的表面，如铣磨透镜。该系统可以用同一台仪器测量一块镜片制造过程中的所有状态，从粗坯到精密抛光的镜片。

•分析各种特殊形状

    尽管这些系统被设计用来测量旋转对称的部件，但如果与非球面、球面或平面形状的偏差很小，它们也可以测量自由曲面的元件。这方面的例子包括椭圆型X射线反射镜或光束成形元件。