LUPHOScan 600/850 HD 大型光学工件精密非接触式轮廓检测仪是基于世界著名的 LUPHOScan HD 的测量原理开发的，为超大型复杂光学原件提供稳定的非接触计量解决方案。我们的计量仪器专家在听取众多光学加工合作者对测量的需求和建议的基础上，深刻理解设计一种能为大型光学工件提供高精度、稳定可靠的测量数据的轮廓检测仪的重要性后，成功开发出满足客户需求的仪器。

产品优势

颠覆性的测量能力：

• 高精度：

    高精度和高重复性的面形误差测量

    精度可达<λ/20 （PV99i），RMS最小可达5 nm*

• 测量范围大，灵活性极高：
    测量口径范围可从5mm 到850mm，测量高度可达210mm

• 高密度测量点：
    测量点数高达600万，以用于精确分析大口径光学元件的中频面形误差

• 自由曲面测量
    对回转非对称面可测量整个圆周的最大斜度变化到±8（径向斜度到90°）

• 几乎能测量所有的材料
    透明、镜面、不透明、抛光或磨光面

为保证测量精度和重复性所采用的优化技术：

• 大理石框架结构
    采用材质分布均匀的大理石框架结构，可以很好地消除热膨胀所引起的误差，

    外加优化设计将振动造成的测量误差减到最小。

• 环境变化实时误差补偿
    四个温度变化测量传感器和一个气压变化传感器

• 低系统噪声确保了高测量精度
    采用TMC设计的主动抗振平台，以获得最佳的隔振效果

• 自动调心调平
    全自动测量，获得稳定而精确的测量结果

技术指标

准确性和再现性研究

为了证明 LUPHOScan HD 的准确性和再现性，在无负载和有150kg负载的情况下，分别对 Φ 600 mm 的参考平晶面在两个不同的转动方位上进行测量。

测试数据显示了当大平晶旋转到不同方位时面形误差PV99i值仍然很稳定。

Φ 600 mm的光学参考平晶：
  • 0°（无负载）- 303 nm, 57 nm RMS
  • 120°（无负载）-335 nm, 58 nm RMS
  • 0° (150 kg ft 4k) - 294 nm, 60 nm RMS
  • 120°（150kg 负载）-350 nm, 69 nm RMS