接触式三维自由曲面光学轮廓仪 PGI Freeform
Product Details
接触式三维自由曲面光学轮廓测量仪 PGI Freeform是一款全自动、快速、准确的光学自由曲面测量系统设备,可提供球面、非球面、衍射面和自由曲面的三维平行/径向的测量和分析结果。通过完全自动化的测量仪和分析程序,缩短测量时间,还可对自由平面进行批量测量。
产品优势
全新的PGI Freeform是一款灵活多样、高分辨率的光学测量系统,适用于高精密光学零件的自由曲面的测量。
能够为以下光学零件的提供栅格方向和径向的三维测量与分析:
-
球面
-
非球面
-
衍射面
-
自由曲面
PGI Freeform可与最新的用于定义自由曲面的方程式相兼容,测量多种多样的自由曲面, 比如:
-
双环曲面
-
双圆锥面
-
变形非球面
-
椭球面
-
NURBS曲面
-
Zernike曲面
-
点云曲面
用途广泛、操作简便:
• 传感器量程最大可达28mm*
• 可测量工件表面陡度最高50°
• 测量精度最小100 nm (PV)**
(* 使用14 mm量程传感器和120mm长测针 ** 2D轮廓)
技术指标
传感器量程 |
分辨率 |
陡度 |
3D 面形误差 |
最大 28 mm |
最高 0.8nm |
最大 50° |
150 - 250 nm |
顶尖的测量性能
测量结果具备测量的完整性和可重复性
Form Talysurf® PGI Freeform是以泰勒 •霍普森几十年测量、超精密制造和FEA优化设计的经验为基础打造的。
这些都为测量轴提供了低噪声和近乎完美的机械运动结构。
通过最新的专用软件界面,很容易设置和精确分析自由曲面测量。Form Talysurf® PGI Freeform的多功能性使其成为完整的光学计量解决方案。
3D校准程序提供可靠的测量结果
要达到光学行业水准的精确3D测量,这不是简单地增加一个Y轴合就能实现的,更需要具备一下条件:
•全新的、独特的真3D校准
•修正超出机械调鏊能达到的对准误差
•对准确的3D测量至关重要
•典型的面形误差:
<500 nm,无3D校准
<150 nm,带3D校准
可用于精确表面分析的全3D测量和分析:
• 易于定义的测量设置
• 原始表面的3D点云数据
• 专用的自由曲面分析工具可将实测面形与设计面形进行比较
• 表面残差显示面形误差
• 输出表面残差反馈给制造过程
产品中心
PRODUCT CENTER